Das Ziel der Arbeit des Fraunhofer FEP ist, das Innovationspotenzial der Elektronenstrahl- und Plasmatechnik für Produktionsprozesse und den Anlagenbau zu erschließen und für den Kunden nutzbar zu machen. Die Forschungs- und Entwicklungstätigkeit zeichnet sich durch große Industrienähe und Kundenorientierung aus. Dabei hat das Fraunhofer FEP die Entwicklung innovativer Technologien ebenso im Blick wie deren Kosteneffizienz in der Produktion.

Grundlage der Arbeit sind die Kernkompetenzen Elektronenstrahltechnologie, Puls-Magnetronsputtern und plasma-aktivierte Hochratebedampfung. Diese Kernkompetenzen werden ständig weiterentwickelt und in innovativen Arbeitsgebieten nutzbar gemacht. Die Arbeitsgebiete umfassen die Vakuumbeschichtung sowie die Oberflächenbearbeitung und -behandlung mit Elektronen und Plasmen. Neben der Entwicklung von Schichtsystemen, Produkten und Technologien ist ein wichtiger Schwerpunkt die Aufskalierung der Technologien für die Beschichtung und Behandlung großer Flächen mit hoher Produktivität.