Neuartige Plasmaquellen und –prozesse Eine Beschichtung ist nur so gut wie ihr Prozess. Das Know-how zur Erzielung der richtigen Schichteigenschaften und einer entsprechenden Schichtqualität ist häufig entscheidend für die Einstellung der jeweils gewünschten Oberflächenfunktionen.
Die Arbeitgruppe »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« beschäftigt sich daher mit der Bewertung neuer Verfahren und Möglichkeiten zur Herstellung von Schichtsystemen. Aktuell wird an HIPIMS-Technologien (High Power Impuls Magnetron Sputtering), Möglichkeiten der Plasmadiagnostik und Regelungstechnik sowie an Methoden für 3D-Beschichtungen gearbeitet.
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